职位描述及要求
1.负责 ALD、PEALD 设备腔体、真空、气路、温控等整体方案设计,开展气流、热场仿真,解决设备颗粒、腔体腐蚀等问题;
2.零部件选型、三维建模、出图,编制 BOM 清单,推进零部件国产化;跟进样机装配调试,整改设备硬件问题;
3.带领结构设计团队,进行图纸审核、任务分配、图纸资料归档;对接电控、采购、供应商开展项目落地。
4.遵循 SEMI 行业标准,做好技术沉淀,申请相关结构专利。
工作经验要求
1.本科及以上,机械、真空相关专业;
2.3-6 年 ALD 设备整机设计经验,具有团队管理经验;熟练使用 SolidWorks 及仿真软件;
3.熟悉真空系统、特种气体管路、腔体结构设计;了解半导体行业相关规范;
4. 有 8/12 英寸 ALD 量产设备开发经历优先。


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